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產品詳細說明
日本COSMOS半導體特氣檢漏儀XP-703D日本新宇宙自動吸引式
特點：
最適合于檢測半導體特氣的微量泄漏。
采用聲光報警。
規格
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檢測對象氣體 |
半導體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等） |
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檢測原理 |
熱線型半導體式 |
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采樣方式 |
自動吸引式 |
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可檢測濃度 |
砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣 |
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檢測表示 |
蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍 |
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應答速度 |
10秒以內 |
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